系统主要性能指标:
1、极限真空度1Pa
2、配置直联泵及罗茨泵
3、系统包括样品水冷转盘、水冷挡板、水冷快速探头等
(4)真空炉
系统主要性能指标:
1、极限真空度6×10-4Pa
2、温度范围:950℃~1200℃可控,温度均匀性±10℃
3、真空腔体Φ350×300
4、用于真空退火、真空钎焊和真空除气
(5)、程控排气台
系统主要性能指标:
1、系统极限真空度5×10-9Pa
2、烘箱极限真空度<2Pa
3、烘箱尺寸Φ500×1200
4、可按用户需要配置电源,设置温控曲线及
工艺控制、记录。
三、技术咨询与服务
联系电话:010-62552166。