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真空产品

一、简介

真空应用技术部，技术力量雄厚，具有十几年丰富的真空设备的设计及生产经验，产品涉及电真空器件的生产设备、镀膜生产设备、超高真空科研生产设备及各种超高真空标准件。能按照客户的要求，设计制造。生产的各种产品已广泛应用于国家科研部门，得到了很高的评价。本公司具备很强的非标设计能力，可以根据用户具体要求，设计制造非标产品。本公司制造的真空应用设备广泛应用于航空航天、电子信息、原子能、科学研究、建筑装潢、机械汽车、光学、能源等行业。设备工作稳定可靠，深受用户好评。

二、 主要产品

（1）双位高频除气台

系统主要性能指标：

1、空载极限真空度5×10^-5Pa

2、系统为双位结构，可分别工作。主抽泵分别为

600L及1500L分子泵，前级为8L机械泵。

3、高频加热指标；最大功率30KW，工作频率

300～500KHZ，交流电源380V50A。

4、用于超导膜的制造及各种镀膜试验

（2）阴极真空预处理台（主要用于阴极预处理及试验二极管排气）

系统主要性能指标：

1、空载极限真空度5×10^-6Pa

2、启动30分钟后系统真空度8×10^-4Pa

3、烘箱温度：450℃

（3）等离子沉积系统：

系统主要性能指标：

1、极限真空度1Pa

2、配置直联泵及罗茨泵

3、系统包括样品水冷转盘、水冷挡板、水冷快速探头等

（4）真空炉

系统主要性能指标：

1、极限真空度6×10^-4Pa

2、温度范围：950℃～1200℃可控，温度均匀性±10℃

3、真空腔体Φ350×300

4、用于真空退火、真空钎焊和真空除气

（5）、程控排气台

系统主要性能指标：

1、系统极限真空度5×10^-9Pa

2、烘箱极限真空度<2Pa

3、烘箱尺寸Φ500×1200

4、可按用户需要配置电源，设置温控曲线及

工艺控制、记录。

三、技术咨询与服务

联系电话：010-62552166。